Mikrostrukturen effizient messen

Zeiss, Spezialist für Optik und Messtechnik, stellt die kombinierten, hoch auflösenden Messmikroskope O-Inspect duo vor. Hochgenau und effizient können sie mikroskopische Details insbesondere an komplexen Bauteilen erfassen und messen. Besonders vorteilhaft erweist sich dafür, dass dies zum einen optisch, zum anderen taktil mit scannenden Verfahren gelingt. Berührungslose Sensorik ermöglicht, gegen Berührung empfindliche Bauteile genau zu messen. Zum taktilen Messen in drei Dimensionen verfügen die Messmikroskope über Sensoren Vast XXT. Diese erfassen besonders schnell und genau scannend eine Vielzahl an Messpunkten.

Um Oberflächen und Konturen optisch zuverlässig zu erkennen, sind die Messmikroskope mit einem in der Leuchtstärke einstellbaren Ringlicht ausgestattet. Eine auf 5 Megapixel abbildende Farbkamera erkennt auch kleinste Details, beispielsweise defekte Leiterbahnen und Lötpunkte. Ausgewertet werden Messungen und Kameraaufnahmen mit der Software Calypso beziehungsweise ZEN core. Zu messende Objekte werden auf schnell wechselbaren Paletten außerhalb der Messmikroskope aufgebaut.

Somit können Labore und Unternehmen künftig effizient, flexibel und zudem hochgenau eine Vielzahl kleiner und großer Bauteile in sämtlichen Details zuverlässig inspizieren und messen. Das optimiert zum einen wissenschaftliche Analysen, zum anderen eine durchgängige Qualitätssicherung in der industriellen Produktion.